Nº 202102751 Patente registrada en INAPI
Pulverización catódica con magnetrón con campo magnético ajustable individualmente
Concedida
Solicitud
202102751
Tipo
Patente de Invención
Registro
67526
Inventores (2)
Personas que figuran como creadoras de la invención
PA
POLLE, ALEXANDER
ALEMANIA
WD
WAGNER, DOMINIK
ALEMANIA
Solicitantes (1)
Personas o empresas que solicitan la patente
IM
INTERPANE ENTWICKLUNGS- UND BERATUNGSGESELLSCHAFT MBH
ALEMANIA
Representantes legales (1)
Estudios jurídicos o agentes registrados ante INAPI
Clasificación CIP (2)
Códigos de la Clasificación Internacional de Patentes
C23C14/35
Revestimiento por evaporación en vacío, pulverización catódica o implantación de iones del material que constituye el revestimiento => caracterizado por el proceso de revestimiento => Pulverización catódica => => por aplicación de un campo magnético, p. ej. pulverización por medio de un magnetrón H01J37/34
Tubos de descarga provistos de medios o de un material para ser expuestos a la descarga, p. ej. con el propósito de sufrir un examen o tratamiento => Tubos de descarga en atmósfera gaseosa => => que funcionan por pulverización catódica Datos de prioridad (1)
Prioridades reclamadas en otras jurisdicciones
OFICINA EUROPEA DE PATENTES
Nº 19171486.4
28/04/2019