Pulverización catódica con magnetrón con campo magnético ajustable individualmente

  • Nro. Solicitud: 202102751
  • Tipo de Solicitud: Patente de Invención
  • Fecha de presentación de la solicitud: 20/10/2021
  • Estado de Trámite: Registrada
  • Número de registro: 67526
  • Fecha de asignación de número de registro: 11/09/2023
  • Fecha de publicación: 01/07/2022
  • Fecha prevista de la expiración del registro: 07/04/2040

Título de la solicitud

PULVERIZACIÓN CATÓDICA CON MAGNETRÓN CON CAMPO MAGNÉTICO AJUSTABLE INDIVIDUALMENTE

Solicitante(s)

Nombre Solicitante País
INTERPANE ENTWICKLUNGS- UND BERATUNGSGESELLSCHAFT MBH ALEMANIA

Representante(s)

Nombre Representante País
ESTUDIO CAREY LIMITADA CHILE

Inventores

Nombre Inventor País
POLLE, ALEXANDER ALEMANIA
WAGNER, DOMINIK ALEMANIA

Clasificación IPC

C23C14/35; H01J37/34;
IPC Descripción
C23C14/35 REVESTIMIENTO POR EVAPORACIÓN EN VACÍO, PULVERIZACIÓN CATÓDICA O IMPLANTACIÓN DE IONES DEL MATERIAL QUE CONSTITUYE EL REVESTIMIENTO => CARACTERIZADO POR EL PROCESO DE REVESTIMIENTO => PULVERIZACIÓN CATÓDICA => => POR APLICACIÓN DE UN CAMPO MAGNÉTICO, P. EJ. PULVERIZACIÓN POR MEDIO DE UN MAGNETRÓN
H01J37/34 TUBOS DE DESCARGA PROVISTOS DE MEDIOS O DE UN MATERIAL PARA SER EXPUESTOS A LA DESCARGA, P. EJ. CON EL PROPÓSITO DE SUFRIR UN EXAMEN O TRATAMIENTO => TUBOS DE DESCARGA EN ATMÓSFERA GASEOSA => => QUE FUNCIONAN POR PULVERIZACIÓN CATÓDICA

Datos relativos a la prioridad

Fecha Número País
28/04/2019 19171486.4 OFICINA EUROPEA DE PATENTES